Vorpumpen Reinraum in Siegen

Ausführung:

Siegen

Nordrhein-Westfalen

Frist:

06.05.2025 12:00 Uhr

Art der Leistung:

Beschafft werden 7 Vorvakuumpumpen für den Einsatz in einer PECVD-Clusteranlage im INCYTE Forschungsneubau der Universität Siegen. Die Pumpen müssen für toxische Gase ausgelegt sein. Lieferung von Neugeräten erforderlich. Angebote mit gebrauchten Geräten werden ausgeschlossen.

7 Vorvakuumpumpen

Einsatz in PECVD-Clusteranlage

Auslegung für toxische Gase

Dreiphasiger elektrischer Anschluss

Vakuumsaugund Ausgangsseitig mit KF25 Flansch

Ölbetriebene Pumpen

Kammervolumen von jeweils ca. 0,03 m3

Vorvakuum-Leitungslänge von ca. 10m

Gesamtbudget: 22.500,00 EUR inklusive Umsatzsteuer

Vorvakuumpumpen

PECVD-Clusteranlage

toxische Gase

dreiphasiger elektrischer Anschluss

KF25 Flansch

ölbetriebene Pumpen

Kammervolumen

Vorvakuum-Leitung

Unterlagen