Maskenlose Lithographieplattform zur Erzeugung hochpräziser Mikro- und Nanostrukturen in Jena

Ausführung:

Jena

Thüringen

Frist:

26.08.2025 11:00 Uhr

Art der Leistung:

Die Friedrich-Schiller-Universität beabsichtigt die Anschaffung einer Lithographieplattform zur maskenfreien Erzeugung hochpräziser Mikro- und Nanostrukturen, einschließlich der Software für die Gerätesteuerung und Mustererstellung. Das Nettokostenbudget von 237.000,00 US$ darf nicht überschritten werden.

1 Lithographieplattform

Software zur Gerätesteuerung und Mustererstellung

Technische Leistungsparameter gemäß Ausschreibung

Nettokostenbudget max. 237.000,00 US$

Lithographieplattform

Mikrostrukturen

Nanostrukturen

Software

Gerätesteuerung

Mustererstellung

technische Leistungsparameter

Unterlagen