E-BEAM Lithografietool in Frankfurt (Oder)

Das Angebot muss eine Beschreibung der Maschine mit dem Funktionsprinzip enthalten. Zudem sind die Kosten für zwei Jahre Wartung separat zu kalkulieren und anzugeben. Eine technische Beschreibung der Maschine ist ebenfalls erforderlich. Die Kosten für drei Jahre Wartung sind separat anzugeben. Die fünf kostenintensivsten Ersatzteile innerhalb dieses Zeitraums sind zu benennen.