Beschaffung einer Dünnschicht-Abscheidungsanlage in Zwickau

- Factory Acceptance Test (FAT) und Installation inkludiert - CE-Kennzeichnung für das Gesamtsystem - Maximalmaße: Höhe 2.95m x Breite 3.60m x Länge 2.60m - Gesamtsystem für Betrieb in einem Reinraum - Mindestens 3 Port Transferkammersystem - Handlingsystem für 150mm Wafer - Pump- und Gassystem mit ölfreien Vorvakuumpumpen - Anlagensteuerungssoftware mit speicherbaren Prozessrezepten - Prozessmodule für co-Deposition und Sputtern - Verschiedene Magnetron-Konfigurationen - Substratheizung bis min. 1000°C - Automatisierte Softwaresteuerung für verschiedene Netzteile.