Automatisiertes Cluster Depositionstool in Stuttgart

Das Institut für Photovoltaik (IPV) möchte ein automatisiertes Cluster-Depositionstool für die automatisierte Herstellung von Perowskit-Solarzellen der nächsten Generation anschaffen. Das Gerät soll das Aufbringen hybrider Perowskit-, anorganischer sowie organischer Dünnschichten ermöglichen. Ein automatisierter Probentransporter soll die Proben zur Beschichtung transportieren. Die programmierbare sequenzielle Abscheidung gewährleistet hohe Präzision und Reproduzierbarkeit. Die Anlage ermöglicht das Schichtwachstum über die integrierte In-Situ Diagnostik zu untersuchen.