ALD System (Dielectric + Metal) in Dresden
Ausführung:
Dresden
Sachsen
Frist:
13.03.2025 10:00 Uhr
Art der Leistung:
Lieferung und Installation eines ALD-Systems bestehend aus 2 Kammern inkl. Mainframe zur Abscheidung von Metallnitriden und dielektrischen Schichten auf 300 mm Wafern. Das Gerät muss alle spezifizierten Funktionen zuverlässig erfüllen.
1 ALD-System mit 2 Kammern
Mainframe
Optionale Leistungspositionen wie Waferrotation, interne Lagerung, Notch Aligner, Cooling Station, Pre-Heat Station, Prozessgasanschlüsse
Schnittstellengeräte wie Touchscreen
Verbrauchsmaterialien und Serviceverträge
ALD-Systeme
Metallnitrid-Abscheidung
dielektrische Schichten
Waferhandhabung
Prozessgasanschlüsse
Quelleninspektion
Serviceverträge
Id: 98102379-42c3-4cb6-93b2-0082d3b9c4ff