Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems in Leipzig

Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächenbearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich wird der Kauf eines neuen reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems inklusive Lieferung, Installation und Einweisung in den Anlagenbetrieb ausgeschrieben.