Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät in Dresden

Die beabsichtigte Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines neuen, nicht gebrauchten Chemisch-Mechanischen-Poliergerätes (Tisch-CMP-Gerät) zur chemisch-mechanischen Planarisierung von metallischen und dielektrischen Schichten. Das Gerät soll in einem Reinraum der ISO Klasse 5 (DIN EN ISO 14644-1) installiert werden.