PVD Metall-System für QMI-Verbindung in Dresden

1 Stück PVD Metall-System für QMI-Verbindung (IPMS-MRS12.1) zum Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN und Rückätzen in unabhängigen Kammern für 200-mm-Wafer. Erforderlich für zwei Prozesslinienanwendungen mit konformer Abscheidung der Barriere für optimale Kontaktqualität.