In-Situ Diagnostik für ein Dünnschicht-Clustertool in Stuttgart

Die Anlage muss die Echtzeit-Überwachung des Wachstums und der Kristallisationsdynamik hybrider Perowskit-Dünnschichten innerhalb der Vakuum-PVD-Anlage auf Glasträgern oder auf Siliziumwafern ermöglichen.