Reinraumtechnik - Sachsen
Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer RIE Ätzanlage in Waldheim
Frist: 28.10.2025 12:00 Uhr
Der Auftragnehmer (AN) liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber (AG) nach Inbetriebnahme eine in dieser Leistungsbeschreibung näher beschriebene ICP-RIE Ätzanlage.
ALD System (Dielectric) in Dresden
Frist: 20.10.2025 10:00 Uhr
1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) zur thermischen ALD-Verarbeitung auf Wafern mit 300 mm Durchmesser. Details siehe Vergabeunterlagen.
Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät in Dresden
Frist: 25.09.2025 14:00 Uhr
Die beabsichtigte Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines neuen, nicht gebrauchten Chemisch-Mechanischen-Poliergerätes (Tisch-CMP-Gerät) zur chemisch-mechanischen Planarisierung von metallischen und dielektrischen Schichten. Das Gerät soll in einem Reinraum der ISO Klasse 5 (DIN EN ISO 14644-1) installiert werden.
Planung und Bau des Chemistry Innovation Lab Delitzsch
Frist: 15.09.2025 13:00 Uhr
Das neu zu errichtende CIL soll eine zentrale Rolle in der Weiterentwicklung der Chemie- und Bildungslandschaft im Mitteldeutschen Braunkohlerevier spielen. Es umfasst 2.603 m² hochmoderne Laborräume sowie Büroflächen und Sozialräume. Die Vergütung der Leistungen erfolgt nach Abnahme.