XYZ Phi stage for wafers up to 12 inches (IMS-06.1) & 6-Axis Hexapods + Controllers (IMS-06.2) - PR1046956-2380-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">XYZ Phi stage for wafers up to 12 inches (IMS-06.1) & 6-Axis Hexapods + Controllers (IMS-06.2) - PR1046956-2380-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück - XYZ Phi stage für Wafers bis 12 Zoll (IMS-06.1) 4 Stück - 6-Achsen Hexapods + Controllers (IMS-06.2) Semi-automatisches Test-Setup für advanced R&D Anwendungen Option 1 (LV Pos. 2.5): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 2 (LV Pos. 5.3): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 3 (LV Pos. 12.3): Netzwerk-Interface RS-232 und USB Option 4 (LV Pos. 14.1): Vibrationsisolierende Plattform/Tisch mit Möglichkeit, mindestens zwei 6D-Positionierungsstages sowie eine Rotationsstage mit XYZ-Positionskontrolle für 300-mm-Wafer gleichzeitig zu montieren.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>