WET Clean Equipment (IPMS-CNT08.1) - PR866707-2480-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">WET Clean Equipment (IPMS-CNT08.1) - PR866707-2480-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 WET Clean Equipment: Single Wafer Clean (SWC) Tool Gegenstand der Ausschreibung ist eine Anlage zum Reinigen und Nassätzen von Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm mit Chemikalien auf Flüssigbasis im Single-Wafer-Modus (SWC). Die Anlage kann mindestens zwei hardwaremäßig getrennte Protokollzonen gleichzeitig bearbeiten. Die folgenden Prozessmedien sollten verfügbar sein: dHF, SC1, SC2, dHCl, O3DIW, SPM, Königswasser, AOM, FOM; HOM Optionale Leistungspositionen / optional service items: 6.1.1 Optionale Anforderungen und Ausstattungen Bitte bieten Sie eine Anlage zur Einsparung/Recycling/Wiederverwendung von Heiß-DIW-Abwasserwärme im Sinne der Energieeinsparung an, bitte angeben 6.1.2 Optionale Anforderungen und Ausstattungen Bitte bieten Sie eine Aqua regia Verdünnungsanlage zur Verdünnung von AR-Abfällen an bitte angeben 6.1.3 Optionale Anforderungen und Ausstattung Bitte bieten Sie eine Online-Rezepturverwaltung an (Hardware & Software) Bitte geben Sie an 6.1.4 Optionale Anforderungen und Ausrüstung Bitte bieten Sie eine Quelleninspektion an Bitte geben Sie an 6.1.5 Optionale Anforderungen und Ausstattung Gewährleistungsverlängerung um ein weiteres Jahr. bitte angeben 6.1.6 Optionale Anforderungen und Ausstattung Energieverbrauchserfassungssystem (z.B. Stromzähler) bitte angeben</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>