Vacuum oven (IZM-11.1) - PR891128-2590-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Vacuum oven (IZM-11.1) - PR891128-2590-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">2 Stk. Vakuumöfen: Der Polymeraushärtungsofen wird zum Aushärten (d. h. Polymerisieren) von Dünnschichtpolymeren auf Wafern verwendet. Der Ofen wird in der Lage sein, verschiedene Polymere auf verschiedenen Substraten wie Silizium-, Glas-, Verbund- und Keramikwafern mit einer Größe von 100 mm bis 200 mm (300 mm optional) zu verarbeiten. Der Ofen soll die Aushärtung im Vakuum unter Stickstoffatmosphäre mit Messung des Sauerstoffgehalts ermöglichen und ist in der Lage, Temperaturen bis zu 400 °C mit einer Temperaturgleichmäßigkeit von +/-5 K und steilen Heiz- und Kühlrampen zu erreichen. Die Aushärtung unter Vakuum ermöglicht niedrigere Aushärtungstemperaturen aufgrund einer geringeren Aktivierungsenergie sowie eine kürzere Verarbeitungszeit. Optionale Features: - Maschine MTBA (Mean Time Between Assist) > 24 h - Maschine MTBF (Mean Time Between Failure) > 300 h - Maschine MTTA (Mean time To Assist) < 10 min - Maschine MTTR (Mean Time To Repair) < 6 h - Betriebszeit der Maschine > 95 % - Das System muss über eine Datenprotokollierungsfunktion zur Aufzeichnung der Maschinenleistung und des Maschinenstatus verfügen (z. B. Startzeit, Endzeit, Anzahl der bearbeiteten Wafer, verwendete Gerätenummer). - Die Firmware muss in der Lage sein, Systemausfälle aufzuzeichnen (z. B. Fehlernummer, Fehlermeldung, Zeit der Fehlererzeugung, Wiederherstellungszeit). - Ein Sauerstoffsensor für Messungen bis zu 10 ppm. Die Daten müssen auf der Benutzeroberfläche angezeigt werden. - Edelstahl 25-Wafer 200mm Kassetten und Kassettengriffe - austauschbarer HEPA- bzw. Partikelfilter - inklusive Vakuumpumpe - Konvektionshärtung - Kühlrampen von ≥2,5K/min möglich - N2-Verbrauch während des gesamten PI-Härtungsprozesses (Referenzprozess: 3h@230°C mit <25ppm Sauerstoffgehalt während der Aushärtung) - Das Werkzeug sollte über eine automatische Sicherung des Betriebssystems, der Werkzeugeinstellungen, Rezepte und Daten verfügen. -Der Ausrüstungslieferant wird Schulungen für 2 Ingenieure anbieten. Am Ende der Schulung des Kundenpersonals muss eine Zertifizierung erreicht werden. Die folgenden detaillierten Punkte sollten Teil der Schulungen sein: - Verfahren zur Inbetriebnahme - Abschaltverfahren - Verwendung spezieller Maschinenfunktionen - Einstellung der Parameter - Einrichtung und Umstellung der Maschine - Interpretation von Fehlercodes und Behebungsverfahren - Detaillierte Fehlerbehebung und Störungsbeseitigung - Wartungsverfahren und -kontrollen - Programmierung von Rezepten</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>