Upgrade des Process Monitoring Tools in Dresden

Upgrade des bestehenden Prozessüberwachungssystems mesc21-11 (Nanofocus Topographiemesssystem, Seriennummer 700259) am Fraunhofer IPMS CNT An der Bartlake 5. Das Upgrade umfasst ein automatisches Handhabungssystem für Wafer in einer separaten, geschlossenen Umgebung. Das System ist in der Lage, Wafer von einem SEMI 300 mm FOUP zum bestehenden Messwerkzeug zu transportieren. Das System kann auch 200 mm Wafer in einen geeigneten Adapter einführen, der eine Verarbeitung auf Standard 300 mm Werkzeugen ermöglicht und die 200 mm Wafer im Adapter in ein SEMI-Standard 300 mm FOUP handhaben.