Ausschreibung

Universität zu Köln - Beschaffung einer Mehrkammer-Beschichtungsanlage

Ausführung:

Nordrhein-Westfalen

Frist:

23.10.2025 13:00 Uhr

Leistungsbeschreibung:
Beschaffung einer Mehrkammer-Beschichtungsanlage zur Beschichtung von Substraten mit Metallen im Rahmen der Mikrofabrikation. Der Prozess umfasst Ionenätzen, direkte Metall- und Supraleiter-Deposition sowie verschiedene Beschichtungstechniken.
Zusammenfassung:
  • Beschaffung einer Mehrkammer-Beschichtungsanlage
  • Einsatz für Mikrofabrikation
  • Beschichtung von Substraten mit Metallen
  • Ionenätzen und direkte Deposition von Metallen
  • Möglichst Kombination von Magnetronsputtern, Elektronenstrahlverdampfen und reaktivem Ionenätzen
  • Realisierung von Hybridstrukturen
Tätigkeiten:
Beschaffungen
Beschichtungstechniken
Mikrofabrikation
Ionenätzen
Magnetronsputtern
Elektronenstrahlverdampfen
Details:
Mehrkammer-Beschichtungsanlage
Substrate
Metalle
Photolacke
Hybridstrukturen
  • Auftraggeber
  • Ausführungsfristen
  • Vergabeunterlagen
  • Bekanntmachungstext
  • Und vieles mehr …
oder:
Id: yIIb6DbAAy