Reinraumkabine E119 EUV Test Facility

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Reinraumkabine E119 EUV Test Facility</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Zu der o.g. Beschaffung von Reinraummodulen liegt ein Kundenwunsch der Firma Carl Zeiss SMT vor. Wir rüsten für unseren Kunden ZEISS ein exklusives Labor am Fraunhofer ILT aus. Der Kunde trägt hierfür die Kosten, gibt Spezifikationen vor und gibt Lösungsvorschläge frei. In dem Labor sollen hochsensible Proben gehandhabt werden. Hierfür muss eine Kontamination durch Kohlenwasserstoffe ausgeschlossen werden. Reinraummodule filtern in der Regel lediglich partikuläre Kontaminationen. Kontaminationen durch ausgasende Substanzen, welche in den Reinraummodulen verbaut werden, müssen so gut es geht ausgeschlossen sein und zusätzliche Filter integriert werden.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">4500841559</div>