Rasterelektronenmikroskop

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Rasterelektronenmikroskop</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Für die Ausstattung des Reinraums zur Herstellung kompakter Quantensystem werden Geräte für eine Mikrotechnologie Prozesskette beschafft. Zur Kontrolle und Bewertung der Prozessergebnis-se auf Substraten mit bis zu 150 mm Durchmesser ist ein hochauflösendes Rasterelektronenmik-roskop vorgesehen. Die Ausschreibung umfasst lediglich die spezifizierte Anlage, die dafür benö-tigten Medien und Peripherien werden vom DLR separat bereitgestellt. Weitergehende Informationen sind der beigefügten Leistungsbeschreibung (Vertragsunterlagen) zu entnehmen.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">422/2025/8566923</div>