Ausschreibung
PVD Metall-System für QMI-Verbindung in Dresden
Ausführung:
Sachsen
Frist:
12.09.2025 11:00 Uhr
Leistungsbeschreibung:
1 Stück PVD Metall-System für QMI-Verbindung (IPMS-MRS12.1) zum Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN und Rückätzen in unabhängigen Kammern für 200-mm-Wafer. Erforderlich für zwei Prozesslinienanwendungen mit konformer Abscheidung der Barriere für optimale Kontaktqualität.
Zusammenfassung:
- 1 Stück PVD Metall-System für QMI-Verbindung (IPMS-MRS12.1)
- Sputtern von AlCu, Al, Ti/TiN
- Rückätzen in unabhängigen Kammern
- Verarbeitung von Quarz-Wafern
- Prozesssystem mit HF-Generatoren
- Gewährleistungsverlängerung um 12 Monate
- Satz von Verschleißteilen zur Abdeckung der Grundgarantiezeit
Tätigkeiten:
Sputtersysteme
Prozesssysteme
Metallabscheidung
Gewährleistungsverlängerung
Details:
PVD Metall-System
QMI-Verbindung
Sputtern
Rückätzen
Quarz-Wafer
HF-Generator
Verschleißteile
- Auftraggeber
- Ausführungsfristen
- Vergabeunterlagen
- Bekanntmachungstext
- Und vieles mehr …
oder:
Id: cnSpVZz1w9