Optisches Topografie Messsystem (Weißlichtinterferometer) - PR860141-2480-W

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Optisches Topografie Messsystem (Weißlichtinterferometer) - PR860141-2480-W</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück Das zu beschaffende optische Topografie Messsystem soll für verschiedene Messaufgaben im Herstellungsprozess von MOEMS und MEMS verwendet werden. Dazu gehören z.B.: die Messung von Mikrospiegel-Planaritäten, Mikrospiegel-Vorauslenkungen, Planarität von Ultraschallwandlermembranen, Messung von Grubentiefen in Silizium bei hohen Aspektverhältnissen, sowie die Bestimmung der Ebenheit und Rauheit von div. Mikroaktoren.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>