Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern (HHI-05) - PR880078-3220-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern (HHI-05) - PR880078-3220-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück Oberflächeninspektionssystem zur Defekterkennung auf Wafern. Oberflächen Inspektionssystem zur schnellen Erkennung von Defekten auf epitaktischen (unstrukturierten) Wafern. Das System soll die Defekttypen Partikel, Kratzer, topgrafische Unebenheit (pits) und Flecken auf der Waferoberfläche erkennen, nach Größe und Typ klassifizieren und die laterale Position in einer Karte angeben können. Das Wafermaterial basiert auf InP- und GaAs-Substraten auf welches mit epitaktischen Verfahren (AlInGa)(AsP) Heterostrukturen gezüchtet wird. Die zu untersuchenden Wafer haben eine Dicke von 350 - 1000µm und eine Durchbiegung von bis zu 80µm. Die Anlage soll manuell beladen werden. Optionen: Servicevertrag 5 Jahre</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>