Ausschreibung
Lieferung und Installation Tisch-CMP-Gerät in Dresden
AusfĂĽhrung:
Sachsen
Frist:
25.09.2025 14:00 Uhr
Leistungsbeschreibung:
Die beabsichtigte Beschaffung beinhaltet die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme eines neuen, nicht gebrauchten Chemisch-Mechanischen-Poliergerätes (Tisch-CMP-Gerät) zur chemisch-mechanischen Planarisierung von metallischen und dielektrischen Schichten. Das Gerät soll in einem Reinraum der ISO Klasse 5 (DIN EN ISO 14644-1) installiert werden.
Zusammenfassung:
- Lieferung eines Tisch-CMP-Gerätes
- Installation und Inbetriebnahme des Gerätes
- Kompatibilität mit Reinraumklasse ISO 5 (DIN EN ISO 14644-1)
- Fähigkeit zur Bearbeitung von Wafer-Probenstücken 2x2 cm2, 4x4 cm2 und bis zu 100 mm Durchmesser
- Entsorgung der gebrauchten Poliermittel über Entsorgungsleitung und Fassaufnahme
Tätigkeiten:
Lieferungen
Installationen
Inbetriebnahmen
Reinraumtechnik
CMP-Technologien
DIN EN ISO 14644-1
Details:
Tisch-CMP-Gerät
chemisch-mechanische Poliergeräte
Wafer-Probenstücke
Poliermittel
- Auftraggeber
- AusfĂĽhrungsfristen
- Vergabeunterlagen
- Bekanntmachungstext
- Und vieles mehr …
oder:
Id: 5JyvzZWHY0