Lieferung, Montage, Inbetriebnahme und Einweisung eines Lithografieclusters in Garbsen

Im Rahmen der Forschungsarbeiten im Bereich der Quantentechnologien planen wir die Beschaffung eines kompakten Lithographieclusters, welches künftig als zentrale Plattform für die Herstellung und Weiterentwicklung mikro- und nanostrukturierter Proben bis zu 8" eingesetzt werden soll. Das System muss eine hohe Reproduzierbarkeit, Flexibilität und Prozesssicherheit gewährleisten, um sowohl bewährte Verfahrensabläufe unter konstanten Bedingungen abzubilden als auch die Entwicklung neuer Prozesse zu ermöglichen. Die Ausschreibung umfasst vier Hauptmodule: - Automatisches Schleuderbeschichtungsmodul für Fotolacke (Modul 1) - Automatisches Sprühbeschichtungsmodul für Fotolacke (Modul 2) - Automatisches Entwicklungsmodul, lösemittelbasiert (Modul 3) - Automatisches Entwicklungs- und Reinigungsmodul, wasserbasiert (Modul 4). Neben der Lieferung frei Verwendungsstelle des Hauptgeräts umfasst der Leistungsumfang die Montage, Inbetriebnahme sowie anschließender Abnahme des Systems und die Einweisung.