Laserbelichter MLA 150 - PR933722-2050-W

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Laserbelichter MLA 150 - PR933722-2050-W</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Beschafft werden soll ein Laserlithographiesystem für die Halbleitertechnologie, das zur Herstellung hochmoderner elektronischer und optoelektronischer Bauelemente eingesetzt wird. Diese Fertigungsprozesse erfordern die präzise Definition komplexer Strukturen aus Metallen, Halbleitern und Isolatoren, welche durch strukturierte Lackschichten realisiert werden. Die Strukturierung erfolgt dabei mittels Laser-Direktbelichtung von optischen Lacken und bildet eine zentrale Voraussetzung für die Entwicklung leistungsfähiger mikrotechnologischer Komponenten</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>