Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Kauf, Lieferung und Installation eines Reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Für die Entwicklung von Methoden für die ultrapräzise ionenstrahlbasierte Oberflächenbearbeitung optischer Substrate mit 200 mm Durchmesser unter Verwendung von reaktiven Ionenspezies wie Fluor, Sauerstoff, Stickstoff und ähnlich zum späteren Einsatz in industriellen Anwendungen im Forschungsbereich "Ultra-Präzisionsoberflächen" des Leibniz-Instituts für Oberflächenmodifizierung e.V. (Wissenschafts¬park Permoserstr. 15, Leipzig) wird der Kauf eines neuen reaktivgastauglichen Ionenstrahlbearbeitungssystems inklusive der Lieferung, Installation und Einweisung in den Anlagenbetrieb ausgeschrieben.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>