Ionenstrahl-Ätzanlage mit Restgasanalyse (RIBE)

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Ionenstrahl-Ätzanlage mit Restgasanalyse (RIBE)</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Beschafft werden soll eine Ionenstrahl-Ätzanlage mit Restgasanalyse zur Endpunkt-Detektion, zum Ätzen von Festkörperproben bis zu einer definierten Tiefe bzw. zum Reinigen von Oberflächen auf einer Fläche mit einem Durchmesser von weniger als 50mm</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">2025-07-25/0011/D</div>