Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3) - PR908005-2480-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Inline AFM (IPMS-CNT10.1; IPMS-CNT10.3) - PR908005-2480-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück Inline AFM Komplettes Rasterkraftmikroskop-System für die Wafer-Metrologie bis 300 mm, bestehend aus entkoppelten XY- und Z-AFM-Scannern mit biegegeführtem Scan-System für alle drei Achsen: Das für den 300-mm-Reinraum anzuschaffende Werkzeug soll innerhalb der Halbleiterproduktionslinie zur schnellen Charakterisierung von Wafern eingesetzt werden können. Der Schwerpunkt liegt dabei auf den Parametern Rauheit, Strukturhöhe, Breiten (kritisches Maß) und Seitenwandwinkel. Außerdem soll eine Defektprüfung möglich sein, um deren morphologische Eigenschaften zu bestimmen. Das System muss vollautomatisch arbeiten und auch elektrische Parameter erfassen können (z.B. Kapazitäten von fF-Bereichen bis zu mehreren hundert pF). Das Handlingsystem und alle Teile, die mit dem Wafer in Berührung kommen, müssen die definierten Kontaminationswerte einhalten, um die Wafer weiter verarbeiten zu können. Optionale Leistungspositionen: 2.2.15 Gewährleistungsverlängerung Bitte bieten Sie eine Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate an. Während der Gewährleistungszeit sind alle Support-, Reparatur- und Ersatzteilkosten abgedeckt und kostenlos. bitte bestätigen, ja/nein 2.2.29 Allgemeine Ausrüstungsanforderungen Das AFM muss in der Lage sein, kleinere Sonden für die Messung manuell zu handhaben (z.B. 200mm Wafer, Waferstücke). Es muss ein Zugang zum Tischbereich vorhanden sein, um die Sonde manuell zu platzieren. Eine Messung muss mit Hilfe der Software des Geräts möglich sein. Es muss keine automatische Handhabung erfolgen. bitte angeben - ja/nein 2.4.7 Kassetten- und Waferspezifikationen Waferdicke 650 µm - 1500 µm - ja/nein 2.7.2 Wafer-Handling/Transfer/Loadlock Es gibt keine Interferenzen zwischen Handlingsystem und Substrat mit Ausnahme eines Außenrings von 10 mm. Dies könnte durch die Verwendung von Full Edge Grip oder ähnlichem (inkl. Handling, Prealigner, Chuck-Vakuum, ...) oder als umschaltbare Konfiguration durch Rezept oder einfache (intuitive) Umschaltung durch den Bediener realisiert werden. bitte angeben und bestätigen - ja/nein 2.7.4 Wafer-Handling-/Transfer-/Loadlock-Ausrüstung verfügt über ein Videoüberwachungssystem zur Überwachung des Systembetriebs bitte angeben und bestätigen - ja/nein 2.12.16 Nachhaltigkeit bietet Modi zur Leistungsreduzierung während der Standby-Zeit bitte angeben - ja/nein 2.12.17 Nachhaltigkeit bietet ein Strommesssystem zur Überwachung des Stromverbrauchs bitte angeben - ja/nein 2.12.18 Nachhaltigkeit Bestätigung und Vorlage der Zertifizierung des Anbieters nach der Nachhaltigkeitsnorm ISO 14001 - Umweltmanagementsystem bitte angeben - ja/nein</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>