Inline 300 mm full wafer XRR (IPMS_CNT07.1) - PR878911-2480-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Inline 300 mm full wafer XRR (IPMS_CNT07.1) - PR878911-2480-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Inline 300 mm full wafer XRR Ein Röntgendiffraktometer, das für die Analyse von 300mm-Vollwafer Halbleiterproben in vollständiger Reinraumumgebung geeignet ist. Das Röntgendiffrarkometer ist für den Reinraumbetrieb im Halbleiterbereich für Beugungsmessung (XRD), Beugungsmessung unter streifenden Einfall (GIXRD), Reflektometriemessungen (XRR), Weitwinkel-XRD (WAXRD) für Textur- und Stressmessungen, Hochauflösende Beugungsmessung (HRXRD) und Reziprokes Space Mapping (RSM) auf Wafern mit Durchmesser 300 mm und 200 mm, mit einem vollautomatischen Loadport und allen notwendigen Subssystemen (z.B. Kühler). Details sind in den Vergabeunterlagen zu finden. Optionale Leistungspositionen: 21.1 Loadport Bitte bieten Sie einen zweiten Loadport an, wenn nicht schon als Ausführung der Anlage vorhanden. "Bitte als Option angeben. Bei einem zweiten angebotenen Loadport, wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 21.2 In plane Detektor Bitte bieten Sie einen In-plane-Detektor mit an, welcher für die im Leistungsverzeichnis geforderte Anlage kompatible ist. "Bitte als Option angeben und bitte angeben ob auch zu einem späteren Zeitpunkt nachrüstbar! Bei angebotenen Detektor wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben" 21.3 1D Detektor Bitte bieten Sie einen 1D-Detektor mit an, welcher für die im Leistungsverzeichnis geforderte Anlage kompatible ist. "Bitte als Option angeben und bitte angeben ob auch zu einem späteren Zeitpunkt nachrüstbar! Bei angebotenen Detektor wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben" 21.4 Korngrößen / Mikrodehnung Wenn nicht schon im Hauptangebot mit inbegriffen, bieten Sie bitte eine mit der geforderten Anlage kompatiblen Software an, mit der Korngrößen & Mikrodehnungen berechnet werden können. "Bitte als Option angeben. Bei angebotener Software wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben." 21.5 Verlängerte Gewährleistung Bitte bieten Sie eine Verlängerung der Gewährleistung um weitere 12 Monate an. "Bitte als Option angeben. Bei angebotener Verlängerung der Gwährleistung wird die angegebene volle Punktzahl vergeben, andernfalls werden 0 Punkte vergeben."</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>