In-Line AFM (IZM-15.1) - PR990603-2590-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">In-Line AFM (IZM-15.1) - PR990603-2590-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Mit dem Fortschritt des 2,5D/3D-Packagings und insbesondere mit der heterogenen Integration verschiedener Materialien gibt es mehrere W2W- oder D2W-Bonding-Technologien, nämlich Direkt-, Fusions- oder Hybrid-Bonding, bei denen verschiedene Materialien wie Si, SiO, SiN, Polymer und Metall miteinander verbunden werden können, wobei die Oberflächenrauheit vor dem Bonding-Prozess von wesentlicher Bedeutung ist. Darüber hinaus erfordert die CMP von polymerbasierten RDLs mit hoher Fräsdichte eine CMP mit anschließender Inline-Überwachung. Daher wird die Inline-Rasterkraftmikroskopie als Messinstrument für die Oberflächencharakterisierung eingesetzt. In solchen Fällen muss nicht nur die Oberflächenrauheit gemessen werden, sondern auch das Dishing oder kleine Vorsprünge in einigen Bereichen müssen ebenfalls gemessen werden. Das Gerät sollte in der Lage sein, Dies auf Wafern oder Wafern mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm zu handhaben, mit automatischer Ausrichtung und Inspektion bestimmter Waferbereiche, die auf einer Waferkarte ausgewählt wurden. Es sollte sowohl eine automatische Beladung des Trägers als auch eine manuelle Probenplatzierung möglich sein. Darüber hinaus wäre die Integration in ein bestehendes MES und die Anbindung an eine Datenbank von Vorteil für die Automatisierung der Datenerfassung und -auswertung. Für die Messung der Oberflächenrauhigkeit sollten verschiedene Scan-Modi (z. B. Kontakt- oder Tapping-Modus) zur Verfügung stehen, da für ein korrektes Hybrid-Bonding eine geeignete Auflösung der Oberflächenrauhigkeit erforderlich ist. Das Tool würde zur Prüfung der Oberflächenqualität vor verschiedenen Bondtechniken, zur Planarisierung von RDL-Schichten oder zum 3D-Scan der Seitenwandrauhigkeit, z. B. für TSV-Hohlräume oder Resist-Seitenwände, in der Pilotlinie für die heterogene Integration eingesetzt werden.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>