Grinder und deionisierte Wasserrecyclinganlage in Itzehoe

1 Stück Grinder (ISIT07a.2) + 1 Stück deionized water recycling unit for grinder (ISIT07a.4). Das Fraunhofer ISIT plant die Beschaffung eines Schleifautomaten mit einer Hochleistungsspindel für Wafergrößen bis zu 8". Die Spindel muss eine Leistung über 6 kW für das Schleifen von GaN-Epitaxie-Substraten aufweisen. Zudem wird eine Wasserrückgewinnungsvorrichtung benötigt, um Schleifpartikel im Abwasser zu vermeiden und den Abwasseranfall zu reduzieren.