Coater&Developer (HHI-06.1) - PR880027 - 3220 -P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Coater&Developer (HHI-06.1) - PR880027 - 3220 -P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück Coater&Developer Die Anschaffung eines automatischen Resist-Abscheidungs- und Entwicklungssystem ist für die flexible, genaue und reproduzierbare Prozesskette für die heterogene Chiplet-Integration mit Multimaterialfähigkeit auf Materialgrößen bis zu 200 mm, hauptsächlich auf LNOI- und III/V-Material, erforderlich. Um die Anforderung eines reproduzierbaren Prozesses zu erfüllen, ist ein automatisiertes Resist-Abscheidungs- und Entwicklungssystem erforderlich, das auch 200 mm große Wafer verarbeiten kann. Diese und die Anschaffung eines DirectWriteLaser-Systems schließt die Lücke zwischen manueller Kontaktlithografie und hochauflösender, aber sehr langsamer Ebeam-Lithografie und eröffnet darüber hinaus die Möglichkeit, 3D-Strukturen in Resist zu erzeugen, was derzeit nicht möglich ist. Option 1: UV-Einheit Option 2: Verlängerung der Gewährleistung um 12 Monate Option 3: Verlängerung der Gewährleistung um 24 Monate</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>