Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD (IAF-05.1/05.2/05.3/05.4/05.5) - PR1036076-2050-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück Cluster_ALD_PECVD_ICP-CVD Das Fraunhofer IAF plant die Anschaffung eines Clustersystems mit ALD-, PECVD- und ICP-CVD-Abscheidungskammer. Das System soll für die Bearbeitung von 150-mm-Wafern geeignet sein.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>