Automatisiertes Cluster Depositionstool

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Automatisiertes Cluster Depositionstool</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Das Institut für Photovoltaik (IPV) möchte ein automatisiertes Cluster-Depositionstool für die automatisierte Herstellung von Perowskit-Solarzellen der nächsten Generation anschaffen. Das Gerät soll dabei u.a. das Aufbringen hybrider Perowskit-, sowie anorganischer bzw. organischer Dünnschichten entweder auf Glasträger oder auf Siliziumwafer ermöglichen. Ein automatisierter Probentransporter soll die Proben zur Beschichtung von Kammer zu Kammer transportieren. Die programmierbare sequenzielle Abscheidung gewährleistet dabei eine besonders hohe Präzision und Reproduzierbarkeit auch bei langwierigen Prozessen. Die Anlage soll zum einen ermöglichen, das Schichtwachstum über die integrierte In-Situ Diagnostik über einen weiten Parameterraum zu untersuchen.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">25-004</div>