Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Gegenstand der Ausschreibung ist die Lieferung, Installation (Inbetriebnahme) und Einweisung eines Atomic-Layer-Deposition (ALD) Modul in einen Reinraum unter Reinraumbedingungen. Zusätzlich soll das gesamte Cluster auf SIA umgerüstet werden. Bei dem angebotenen Gerät hat es sich zwingend um ein CE-zertifiziertes Neugerät zu handeln.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">FKF 2026-04</div>