Ausschreibung
ALD System (Dielectric) in Dresden
AusfĂĽhrung:
Sachsen
Frist:
20.10.2025 10:00 Uhr
Leistungsbeschreibung:
1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) zur thermischen ALD-Verarbeitung auf Wafern mit 300 mm Durchmesser. Details siehe Vergabeunterlagen.
Zusammenfassung:
- 1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1)
- Waferdurchmesser: 300 mm
- Optionale Leistungspositionen zur Ausstattung und Konfiguration
- BKM für thermisches ALD von SiO2, Ta2O5, ZrN, WN
- In-situ-Messtechnik und Reinigung möglich
- Erweiterte Gewährleistung von 12 Monaten
Tätigkeiten:
Details:
- Auftraggeber
- AusfĂĽhrungsfristen
- Vergabeunterlagen
- Bekanntmachungstext
- Und vieles mehr …
oder:
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