ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1146101-2480-P

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) - PR1146101-2480-P</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">1 Stück ALD System (Dielectric) (IPMS-CNT06.1) Eine Anlage zum Aufbringen von Metallnitriden und dielektrischen Schichten mittels thermischer ALD-Verarbeitung auf Wafern mit einem Durchmesser von 300 mm. Details siehe Vergabeunterlagen. Optionale Positionen gemäß Technical Tender Specification (Phase 2 des Vergabeverfahrens)</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">LOT-0000</div>