164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)

<div class="h1">Titel</div> <div class="pre">164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)</div> <div class="h1">Beschreibung</div> <div class="pre">Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.</div> <div class="h1">Interne Kennung</div> <div class="pre">10038206</div>